28200＆88200系列矩形真空板閥
28200＆88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關系統，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設計緊湊，可靠應用于生產線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統（handling system），傳輸系統（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
28200＆88200系列矩形真空板閥產品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產生粉末，顆粒，防塵設計
3. 閥動作平穩,振動和沖擊小
4. 標準接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
28200＆88200系列矩形真空板閥技術參數
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連接形式：
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標準或定制法蘭
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主體材料：
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304 不銹鋼/ AM-350
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公稱通徑：
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DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
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漏率:
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2x10E-9 AtmCC/Sec
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壓力范圍:
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1x10E-9 Torr
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烘烤溫度:
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《150℃
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適用介質：
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水、蒸汽、空氣
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密封形式：
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軟密封型
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驅動方式：
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氣動
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使用壽命:
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1000000 啟閉次數
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28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖
28200＆88200系列矩形真空板閥部件圖
